Диффузия под напряжением в задачах механохимии — различия между версиями
Polina (обсуждение | вклад) (Новая страница: «== Руководитель == к.ф.-м.н. Е.Н. Вильчевская == Введение == == Цели == *Исследовать кинетику х…») |
Polina (обсуждение | вклад) |
||
| Строка 1: | Строка 1: | ||
== Руководитель == | == Руководитель == | ||
к.ф.-м.н. Е.Н. Вильчевская | к.ф.-м.н. Е.Н. Вильчевская | ||
| − | == Введение == | + | == Введение == |
| − | + | Проблема термического окисления кремния сегодня является одной из важнейших проблем в химии в связи с широким использованием и значимостью технологии кремниевых интегральных схем. Так как объем молекулы диоксида кремния примерно в 2.3 раза больше атома кремния, окисление кремния сопровождается большим увеличением объема. Это значит, что эта проблема принадлежит области механохимии, которая рассматривает химические реакции под действием механических нагрузок. | |
| + | В этой работе будет изучен простейший аналитический пример, позволяющий понять основные идеи, в котором фронт химической реакции распространяется вдоль одной оси и остается плоским внутри всего трехмерного тела. Несмотря на то, что значения для некоторых численных вычислений были взяты из параметров для <math>Si</math>, <math>O_2</math> и <math>SiO_2</math>, полученные теоретические результаты можно использовать для реакций этого типа. Кроме того, базируясь на результатах предшествовавшей работы (1), была решена задача диффузии и были приведены результаты с учетом коэффициента диффузии, зависящего от механических нагрузок. | ||
== Цели == | == Цели == | ||
Версия 18:57, 30 ноября 2015
Содержание
Руководитель
к.ф.-м.н. Е.Н. Вильчевская
Введение
Проблема термического окисления кремния сегодня является одной из важнейших проблем в химии в связи с широким использованием и значимостью технологии кремниевых интегральных схем. Так как объем молекулы диоксида кремния примерно в 2.3 раза больше атома кремния, окисление кремния сопровождается большим увеличением объема. Это значит, что эта проблема принадлежит области механохимии, которая рассматривает химические реакции под действием механических нагрузок. В этой работе будет изучен простейший аналитический пример, позволяющий понять основные идеи, в котором фронт химической реакции распространяется вдоль одной оси и остается плоским внутри всего трехмерного тела. Несмотря на то, что значения для некоторых численных вычислений были взяты из параметров для , и , полученные теоретические результаты можно использовать для реакций этого типа. Кроме того, базируясь на результатах предшествовавшей работы (1), была решена задача диффузии и были приведены результаты с учетом коэффициента диффузии, зависящего от механических нагрузок.
Цели
- Исследовать кинетику химического фронта в трехмерном линейно-упругом теле с плоским химическим фронтом под влиянием механических нагрузок;
- Исследовать влияние зависимости коэффициента диффузии от напряжений.
